上海新陽:與Heraeus簽訂《合作備忘錄》,推進半導體光刻膠發展
2021-12-31 07:49
近日,上海新陽半導體材料股份有限公司發布了關于簽訂《合作備忘錄》的公告,公告顯示上海新陽與 HeraeusDeutschland GmbH & Co. KG(以下簡稱“Heraeus”)簽署的《合作備忘錄》系雙方就建立合作關系而簽署的框架協議,為解決中國半導體供應鏈面臨的新挑戰,推進半導體光刻膠的發展,雙方將深度合作,共同努力優化創新的光刻膠解決方案。
圖片來源:上海新陽
公告稱上海新陽作為國內集成電路制造關鍵工藝材料供應商,自立項進行光刻膠項目研發以來,將突破集成電路高端光刻膠國外壟斷,實現集成電路高端光刻膠材料的國產化作為發展目標,在ArF干法、KrF厚膜及I線光刻膠方面已有技術與產品的突破,部分產品已經拿到訂單。
上海新陽表示,公司與Heraeus簽署本協議,旨在完善光刻膠供應鏈,為光刻膠項目的開展提供材料和技術保障,對加快公司集成電路制造用光刻膠產品研發項目進度有積極影響,有利于加速落實公司發展戰略,提高公司可持續發展能力。
據上海新陽2021年第三季度報告顯示,今年前三季度公司實現營業收入實現營業收入71,195.83萬元,較上年同比增長46.31%;實現歸屬于上市公司股東的凈利潤8492.42萬元,較上年同比下降51.99%。
在先前的三季度業績預告中,上海新陽表示:
年初至報告期末,公司營業收入繼續保持大幅增長,半導體和涂料業務銷售收入均實現了50%左右的增長;
由于公司開展光刻膠項目和參與國家重大科技項目,研發投入持續加大,研發費用增加明顯。
今年6月末,上海新陽發布公告稱,公司自主研發的KrF(248nm)厚膜光刻膠產品近日已通過客戶認證,并成功取得第一筆訂單。公告稱,上海新陽開發的365nm I線、248nm KrF、193nm ArF干法及濕法光刻膠可適應國內0.35-0.11微米、90-28nm芯片工藝技術節點的需求。
11月30日,上海新陽在投資者互動平臺表示,目前KrF光刻膠有持續訂單,ArF光刻膠尚在認證當中。
來源:勢銀膜鏈

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